无尘室内该如何防止微粒子污染

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　　一、不携入
　　在无尘室内不携入微粒子的方法有：
　　1)作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理;
　　2)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等;
　　3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室;
　　4)机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室;
　　5)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
　　二、不发生
　　在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。
　　故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策：
　　1)减少接触剥离发尘的动作形态;
　　2)采用磨耗发尘小的材质;
　　3)采用发尘小的润滑油;
　　4)机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
　　三、不储备
　　若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。
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